Plasma Innovation

과불화탄소(PFCs) 분해장치

■ 특허 개요

○ 특허 명칭

“함 불소 화합물 분해 장치에 사용되는 플라즈마 고효율 전극”

○ 특허 출원일 : 2023. 04. 27.

■ 처리 방식

○ 본 기술은 반도체 생산시설 등의 옥상 배출가스 덕트에 직접 부착하여 대량으로 배출되는 지구

온실가스인 이산화탄소(CO2) 및 강력한 과불화탄소(PFCs)의 주성분인 사불화탄소(CF4),

삼불화질소(NF3)를 주로 분해 처리하는 기술임

○ 본 제품은 상온 상압에서 사용이 가능할 뿐 아니라 유지관리가 편리하고 대용량 처리를 할 수 있어

경제성이 뛰어나며 현재 상용화된 기술임

■ 특허기술의 효과

○ 본 특허기술을 이용한 실험 결과 아래 표와 같이 과불화탄소(PFCs)가 98% 이상 저감 되는

획기적인 효과가 있음

PFC PLASMA SYSTEM 처리 매커니즘

PFC PLASMA SYSTEM은 저온 플라즈마의 원리를 이용하여 고압의 전기방전을 통해 발생된 전자들과 가스의 분자들이 충돌하여 자유라디칼을 생성시켜 선택적 반응을 유도함

PTAS외부에 장착된 PFC 처리시스템의 모습

'주식회사 정명'이 보유한 특허 기술의 저감 효과

본 특허 출원 기술을 이용한 실험 결과,

아래 표와 같이 과불화탄소(PFCs)가 98% 이상 저감 되는 획기적인 효과가 있음