Plasma Innovation

■ 특허 개요

○ 특허 명칭 : “함 불소 화합물 분해 장치에 사용되는 플라즈마 고효율 전극”

○ 특허권자 : ㈜정명 (본사 : 충북 충주시 봉계1길 31) 외

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■ 처리방식

○ 본 기술은 반도체 생산시설 등의 옥상 배출가스 덕트에 직접 부착하여

     대량으로 배출되는 지구 온실가스인 과불화탄소(PFCs)를 주로 분해 

     처리하는 방식임.

○ 제품의 장점은 상온 상압에서 사용이 가능할 뿐 아니라 유지관리가

     편리하고 대용량처리를 할 수 있어 경제성이 뛰어남.